VAMAS Surface Chemical Analysis Standard Data Transfer Format 1988 May 4
XI Ltd.
XI Spectral Data Processor
XI ASCII
Boron:  B (1s) signal, BE Cu(2p3) = 932.69 eV
1
0.05 eV/step, Sum of 15 etch/scans
NORM
REGULAR
1
0
0
0
0
0
1
0.05 eV/step, Sum of 15 etch/scans
Boron:  B (1s) signal, BE Cu(2p3) = 932.69 eV
2003
4
25
22
16
24
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55
1
0
0
1000
2000
55
0
data_1
data_1
-1
Binding energy
eV
198
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.1
26
4.00E-06
0
0
0
0
802
92
18435
0.115307
0.117368
1138
0.117368
1178
0.117362
1171
0.117357
1162
0.117352
1202
0.117347
1190
0.117342
1094
0.117336
1129
0.117331
1150
0.117326
1250
0.117321
1131
0.117315
1158
0.11731
1182
0.117305
1165
0.1173
1192
0.117294
1159
0.117289
1134
0.117284
1151
0.117279
1180
0.117274
1161
0.117268
1213
0.117263
1132
0.117258
1160
0.117253
1141
0.117247
1180
0.117242
1109
0.117237
1163
0.117232
1096
0.117226
1159
0.117221
1191
0.117216
1110
0.117211
1133
0.117206
1156
0.1172
1211
0.117195
1171
0.11719
1155
0.117185
1226
0.117179
1177
0.117174
1128
0.117169
1180
0.117164
1167
0.117159
1204
0.117153
1137
0.117148
1131
0.117143
1208
0.117138
1222
0.117132
1218
0.117127
1204
0.117122
1208
0.117117
1129
0.117112
1142
0.117106
1148
0.117101
1152
0.117096
1190
0.117091
1101
0.117086
1223
0.11708
1154
0.117075
1200
0.11707
1122
0.117065
1180
0.117059
1209
0.117054
1173
0.117049
1184
0.117044
1176
0.117039
1161
0.117033
1191
0.117028
1182
0.117023
1195
0.117018
1236
0.117013
1259
0.117007
1228
0.117002
1194
0.116997
1307
0.116992
1186
0.116987
1208
0.116981
1274
0.116976
1197
0.116971
1206
0.116966
1171
0.116961
1290
0.116955
1176
0.11695
1199
0.116945
1214
0.11694
1288
0.116935
1262
0.116929
1229
0.116924
1266
0.116919
1251
0.116914
1276
0.116909
1202
0.116903
1248
0.116898
1244
0.116893
1217
0.116888
1262
0.116883
1209
0.116877
1329
0.116872
1158
0.116867
1325
0.116862
1329
0.116857
1281
0.116851
1277
0.116846
1333
0.116841
1287
0.116836
1308
0.116831
1216
0.116825
1285
0.11682
1331
0.116815
1376
0.11681
1343
0.116805
1292
0.116799
1299
0.116794
1284
0.116789
1354
0.116784
1299
0.116779
1317
0.116774
1305
0.116768
1442
0.116763
1356
0.116758
1321
0.116753
1332
0.116748
1283
0.116742
1326
0.116737
1458
0.116732
1354
0.116727
1388
0.116722
1345
0.116716
1371
0.116711
1452
0.116706
1384
0.116701
1450
0.116696
1485
0.116691
1503
0.116685
1525
0.11668
1501
0.116675
1573
0.11667
1563
0.116665
1586
0.116659
1535
0.116654
1613
0.116649
1689
0.116644
1522
0.116639
1703
0.116634
1653
0.116628
1750
0.116623
1754
0.116618
1785
0.116613
1767
0.116608
1831
0.116603
1918
0.116597
1952
0.116592
1937
0.116587
2051
0.116582
2060
0.116577
2221
0.116572
2226
0.116566
2211
0.116561
2264
0.116556
2434
0.116551
2584
0.116546
2626
0.11654
2771
0.116535
2892
0.11653
3024
0.116525
3201
0.11652
3311
0.116515
3525
0.116509
3758
0.116504
4021
0.116499
4229
0.116494
4462
0.116489
4764
0.116484
5184
0.116478
5497
0.116473
5971
0.116468
6201
0.116463
6618
0.116458
6991
0.116453
7658
0.116448
8186
0.116442
8722
0.116437
9337
0.116432
9925
0.116427
10387
0.116422
11030
0.116417
11758
0.116411
12257
0.116406
13031
0.116401
13561
0.116396
14315
0.116391
14780
0.116386
15203
0.11638
15853
0.116375
16366
0.11637
16576
0.116365
16924
0.11636
17522
0.116355
17764
0.11635
17816
0.116344
18078
0.116339
18362
0.116334
18435
0.116329
18325
0.116324
18051
0.116319
18008
0.116313
18004
0.116308
17706
0.116303
17220
0.116298
16845
0.116293
16685
0.116288
15994
0.116283
15493
0.116277
14976
0.116272
14392
0.116267
13826
0.116262
12900
0.116257
12325
0.116252
11650
0.116247
10890
0.116241
10404
0.116236
9478
0.116231
8945
0.116226
8236
0.116221
7552
0.116216
6917
0.116211
6108
0.116205
5601
0.1162
5125
0.116195
4659
0.11619
4115
0.116185
3656
0.11618
3194
0.116175
2784
0.116169
2436
0.116164
2163
0.116159
1906
0.116154
1631
0.116149
1445
0.116144
1285
0.116139
1123
0.116134
936
0.116128
808
0.116123
723
0.116118
666
0.116113
563
0.116108
507
0.116103
416
0.116098
433
0.116092
391
0.116087
330
0.116082
321
0.116077
287
0.116072
286
0.116067
265
0.116062
257
0.116057
242
0.116051
281
0.116046
217
0.116041
243
0.116036
214
0.116031
207
0.116026
200
0.116021
207
0.116016
194
0.11601
178
0.116005
159
0.116
164
0.115995
165
0.11599
141
0.115985
173
0.11598
177
0.115975
144
0.115969
141
0.115964
149
0.115959
169
0.115954
141
0.115949
135
0.115944
144
0.115939
141
0.115934
152
0.115928
161
0.115923
138
0.115918
143
0.115913
136
0.115908
130
0.115903
143
0.115898
133
0.115893
134
0.115888
133
0.115882
108
0.115877
130
0.115872
144
0.115867
124
0.115862
122
0.115857
119
0.115852
113
0.115847
115
0.115842
139
0.115836
132
0.115831
135
0.115826
141
0.115821
142
0.115816
107
0.115811
144
0.115806
130
0.115801
127
0.115796
137
0.11579
121
0.115785
118
0.11578
125
0.115775
118
0.11577
135
0.115765
126
0.11576
121
0.115755
114
0.11575
118
0.115745
131
0.115739
107
0.115734
110
0.115729
110
0.115724
124
0.115719
128
0.115714
109
0.115709
119
0.115704
116
0.115699
106
0.115693
107
0.115688
134
0.115683
129
0.115678
115
0.115673
122
0.115668
115
0.115663
116
0.115658
115
0.115653
101
0.115648
129
0.115643
125
0.115637
113
0.115632
129
0.115627
122
0.115622
110
0.115617
102
0.115612
111
0.115607
121
0.115602
128
0.115597
119
0.115592
123
0.115587
109
0.115581
141
0.115576
117
0.115571
108
0.115566
97
0.115561
119
0.115556
117
0.115551
114
0.115546
114
0.115541
126
0.115536
124
0.115531
112
0.115525
113
0.11552
122
0.115515
121
0.11551
106
0.115505
103
0.1155
95
0.115495
109
0.11549
110
0.115485
123
0.11548
94
0.115475
107
0.11547
105
0.115464
101
0.115459
111
0.115454
124
0.115449
116
0.115444
107
0.115439
116
0.115434
127
0.115429
92
0.115424
99
0.115419
121
0.115414
114
0.115409
92
0.115404
104
0.115398
111
0.115393
118
0.115388
99
0.115383
114
0.115378
102
0.115373
104
0.115368
124
0.115363
119
0.115358
117
0.115353
111
0.115348
121
0.115343
104
0.115338
106
0.115333
126
0.115328
107
0.115322
120
0.115317
122
0.115312
128
0.115307
end of experiment
